Анализатор покрытий FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD — это рентгенофлюоресцентный измерительный прибор, оснащённый крупным кремниевым дрейфовым детектором и мощной рентгеновской трубкой. Имеет максимальную гибкость возбуждения как для размера пятна измерения, так и для спектрального состава материала.
Прибор может оборудоваться различными фильтрами и диафрагмами в соответствии с условиями задач контроля. Детектор имеет окно площадью 50 мм2 и апертуру Ø 3 мм, позволяющие анализировать малые области и покрытия небольшой толщины с высокой точностью и за короткое время.
Для создания идеальных условий возбуждения для каждого измерения прибор имеет электрически сменные апертуры и первичные фильтры. Благодаря высокоточному программированию и XY-регулировке опоры может использоваться для автоматизированных измерений образцов.
Анализатор XDV-SDD может применяться для исследования очень тонких покрытий, слоёв золота и палладия от 0,1 мкм, измерения функциональных покрытий в электронике и полупроводниковой промышленности. Подходит для анализа золота и его сплавов, а также сложных многослойных систем. Прибор может обнаруживать нежелательные вещества в электронных устройствах, упаковочных материалах и потребительских товарах в соответствии с требованиями RoHS, WEEE, CPSIA и других нормативных документов.
0,25 мм
Минимальный диаметр пятна измерения
Особенности
- подходит для определения тонких покрытий, небольших структур, микроэлементов и сплавов;
- оснащён высокоточной программируемой XY-опорой и Z-осью с электрическим приводом;
- метод фундаментальных параметров Fischer исключает необходимость калибровки;
- соответствует стандартам DIN ISO 3497
и ASTM B 568;
- интегрированный видеомикроскоп с масштабированием для точной регулировки точки измерения;
- представление данных на ПК, анализ и оценка измерений осуществляются с помощью программного обеспечения WinFTM;
- лазерная указка для облегчения позиционирования и выравнивания образцов.
Технические характеристики
| Рентгеновский источник | микрофокусная трубка с вольфрамовой мишенью и бериллиевым окном |
|---|---|
| Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
| Апертура (коллиматор) | 4 сменных: Ø 0,2 мм; Ø 0,6 мм; Ø 1 мм; Ø 3 мм |
| Первичный фильтр | 6 сменных: Ni, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, Al 100 мкм, Mylar 100 мкм, без фильтра |
| Область измерения | мин. Ø 0,25 мм; размер пятна измерения ≈ размер апертуры + 10%; зависит от расстояния измерения и диафрагмы; фактический размер пятна измерения показывается на видеоизображении |
| Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 50 мм2 |
| Разрешение | ≤ 140 эВ |
| Расстояние до образца | 0 – 80 мм |
| Область размещения образца | 370×320 мм |
| Максимальная масса образца | 5 кг / 20 кг |
| Максимальная высота образца | 140 мм |
| Исполнение | программируемая XY-регулировка опоры |
| Перемещение опоры по оси XY | 250×250 мм |
| Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
| Перемещение опоры по оси Z | 140 мм |
| Лазерная указка | есть |
| Масштабирование | 1x, 2x, 3x, 4x |
| Видеомикроскоп | цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, ручная фокусировка и автофокус, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов |
| Фокусировка | автофокус, ручная настройка фокальной плоскости в диапазоне от 0 до 80 мм |
| Программное обеспечение | стандартно: Fischer WinFTM BASIC включая PDM; опционально: Fischer WinFTM SUPER |
| Питание | адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт |
| Диапазон рабочих температур | от +10 до +40 °С |
| Класс защиты | IP40 |
| Температура хранения | от 0 до +50 °С |
| Габариты | 660×835×720 мм |
| Масса | 140 кг |