Измерительные приборы FISCHERSCOPE X-RAY серий XDL/XDLM/XDAL используют рентгенофлюоресцентный метод, имеют различные исполнения аппаратной части. Конфигурацию устройства можно подобрать в соответствии с конкретной метрологической задачей.
Приборы с различными диапазонами измерения могут использоваться для ручного, частично либо полностью автоматизированного контроля, а также проведения серийных измерений. Соответствует стандартам DIN ISO 3497 и ASTM B 568.
Серия XDL
Включает модели XDL 210/220/230/240, которые доступны с различными вариантами опор для размещения образцов, а также фиксированной или регулируемой осью Z. Энергодисперсионные приборы универсальны в применении и подходят для измерения толщины и анализа тонких покрытий, частей печатных плат и деталей серийного производства.
Серия XDLM
Включает модели XDLM 231/232/237, которые имеют фиксированную, управляемую вручную или моторизованную XY-опору для образцов. Все модели серии оснащены программируемой осью Z с приводом. Имеют электрически сменные апертуры и первичные фильтры. Приборы подходят для исследования тонких покрытий, даже с малой плотностью.
Модель XDAL 237
Устройство разработано для неразрушающего контроля и анализа очень тонких покрытий ≤ 0,1 мкм, имеющих небольшую плотность и сложный состав. Благодаря программируемой XY-регулировке опоры прибор отлично подходит для автоматизированных измерительных операций при мониторинге качества и производственном процессе.
0–80 мм
Расстояние до образца
Особенности
- в моделях, оборудованных XY-регулировкой опоры, имеется лазерная указка для облегчения позиционирования и выравнивания образцов;
- представление данных на ПК, анализ и оценка измерений осуществляются с помощью программного обеспечения WinFTM;
- оснащены цветной видеокамерой высокого разрешения для определения места измерения;
- метод фундаментальных параметров Fischer исключает необходимость калибровки;
- зазор в корпусе позволяет проводить измерения на больших плоских образцах, которые не помещаются в измерительную камеру;
- интегрированный видеомикроскоп с масштабированием для точной регулировки точки измерения;
- высокая скорость измерения благодаря использованию пропорционального счётчика;
- долговременная стабильность системы.
Сферы применения
- контроль качества, входящий контроль и контроль производственного процесса;
- проверка тонких покрытий и слоёв декоративного хромирования;
- анализ растворов гальванических покрытий;
- контроль функциональных покрытий в электронике и полупроводниках;
- исследование деталей гальванического производства;
- автоматизированные измерения.
Технические характеристики серии XDL
| Модель | XDL 210 | XDL 220 | XDL 230 | XDL 240 |
|---|---|---|---|---|
| Рентгеновский источник | вольфрамовая трубка с бериллиевым окном | вольфрамовая трубка с бериллиевым окном | ||
| Напряжение | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ |
| Апертура (коллиматор) | Ø 0,3 мм; опция Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,3×0,05 мм | Ø 0,3 мм; опция Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,3×0,05 мм | ||
| Область измерения | мин. Ø 0,2 мм | мин. Ø 0,2 мм | мин. Ø 0,2 мм | мин. Ø 0,2 мм |
| Рентгеновский детектор | пропорциональный счётчик | пропорциональный счётчик | ||
| Диапазон элементов | от Ti (22) до U (92), анализирует до 24 элементов одновременно с использованием WinFTM BASIC | |||
| Расстояние до образца | 0 – 80 мм | 0 – 80 мм | 0 – 80 мм | 0 – 80 мм |
| Область размещения образца | 463×500 мм | 463×500 мм | 420×450 мм | 300×350 мм |
| Максимальная масса образца | 20 кг | 20 кг | 20 кг | 5 кг / 20 кг |
| Максимальная высота образца | 25 – 300 мм (в зависимости от опоры) | 140 мм / 290 мм | 140 мм | 140 мм |
| Исполнение | фиксированная опора | фиксированная опора | ручная XY-регулировка | программируемая XY-регулировка |
| Перемещение опоры по оси XY | — | — | 95×150 мм | 255×235 мм |
| Скорость перемещения опоры | — | — | — | ≤ 80 мм/сек |
| Ось Z | фиксированная позиция (верхняя/средняя/нижняя) | электрически регулируемая | электрически регулируемая | программируемая |
| Перемещение опоры по оси Z | — | 140 мм | 140 мм | 140 мм |
| Лазерная указка | — | — | есть | есть |
| Масштабирование | 1x, 2x, 3x, 4x | 1x, 2x, 3x, 4x | 1x, 2x, 3x, 4x | 1x, 2x, 3x, 4x |
| Видеомикроскоп | цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического контроля местоположения измерения вдоль оси первичного луча, перекрестье с калиброванной шкалой (линейкой) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка | |||
| Программное обеспечение | стандартно: Fischer WinFTM LIGHT; опционально: Fischer WinFTM BASIC, PDM, SUPER | |||
| Питание | адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт | |||
| Диапазон рабочих температур | от +10 до +40 °С | от +10 до +40 °С | от +10 до +40 °С | от +10 до +40 °С |
| Класс защиты | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Температура хранения | от 0 до +50 °С | от 0 до +50 °С | от 0 до +50 °С | от 0 до +50 °С |
| Габариты | 570×760×650 мм | 570×760×650 мм | 570×760×650 мм | 570×760×650 мм |
| Масса | 94 кг | 99 кг | 107 кг | 120 кг |
Технические характеристики серии XDLM
| Модель | XDLM 231 | XDLM 232 | XDLM 237 |
|---|---|---|---|
| Рентгеновский источник | микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном | ||
| Напряжение | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ | 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ |
| Апертура (коллиматор) | стандартно 4 сменных: Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,05×0,05 мм; 0,2×0,03 мм; опция: Ø 0,3 мм; 0,3×0,05 мм | ||
| Область измерения | мин. Ø 0,1 мм с апертурой 0,05×0,05 мм | мин. Ø 0,1 мм с апертурой 0,05×0,05 мм | мин. Ø 0,1 мм с апертурой 0,05×0,05 мм |
| Рентгеновский детектор | пропорциональный счётчик | пропорциональный счётчик | пропорциональный счётчик |
| Диапазон элементов | от K (19) до U (92), анализирует до 24 элементов одновременно с использованием WinFTM BASIC | ||
| Расстояние до образца | 0 – 80 мм | 0 – 80 мм | 0 – 80 мм |
| Область размещения образца | 463×500 мм | 420×450 мм | 300×350 мм |
| Максимальная масса образца | 20 кг | 20 кг | 5 кг / 20 кг |
| Максимальная высота образца | 140 мм | 140 мм | 140 мм |
| Исполнение | фиксированная опора | ручная XY-регулировка | программируемая моторизованная XY-регулировка |
| Перемещение опоры по оси XY | — | 95×150 мм | 255×235 мм |
| Скорость перемещения опоры | — | — | ≤ 80 мм/сек |
| Ось Z | электрически регулируемая | электрически регулируемая | программируемая |
| Перемещение опоры по оси Z | 140 мм | 140 мм | 140 мм |
| Лазерная указка | есть | есть | есть |
| Масштабирование | 1x, 2x, 3x, 4x | 1x, 2x, 3x, 4x | 1x, 2x, 3x, 4x |
| Видеомикроскоп | цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, ручная фокусировка и автофокус, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов | ||
| Программное обеспечение | стандартно: Fischer WinFTM LIGHT; опционально: Fischer WinFTM BASIC, PDM, SUPER | ||
| Питание | адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт | ||
| Диапазон рабочих температур | от +10 до +40 °С | от +10 до +40 °С | от +10 до +40 °С |
| Класс защиты | IP40 | IP40 | IP40 |
| Температура хранения | от 0 до +50 °С | от 0 до +50 °С | от 0 до +50 °С |
| Габариты | 570×760×650 мм | 570×760×650 мм | 570×760×650 мм |
| Масса | 100 кг | 108 кг | 120 кг |
Технические характеристики модели XDAL 237
| Рентгеновский источник | микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном |
|---|---|
| Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
| Апертура (коллиматор) | 4 сменных: Ø 0,1 мм; Ø 0,3 мм; Ø 0,6 мм; 0,5×0,15 мм |
| Область измерения | Ø 0,15 мм с апертурой 0,1 мм |
| Рентгеновский детектор | версия с кремниевым ПИН-детектором, разрешение ≤ 200 эВ, элементы: от S (16) до U (92); |
| версия с кремниевым дрейфовым детектором, разрешение ≤ 160 эВ, элементы: от Al (13) до U (92) | |
| Расстояние до образца | 0 – 80 мм |
| Область размещения образца | 300×350 мм |
| Максимальная масса образца | 5 кг / 20 кг |
| Максимальная высота образца | 140 мм |
| Исполнение | программируемая моторизованная XY-регулировка |
| Перемещение опоры по оси XY | 255×235 мм |
| Скорость перемещения опоры | 80 мм/сек |
| Перемещение опоры по оси Z | 140 мм |
| Лазерная указка | есть |
| Масштабирование | 1x, 2x, 3x, 4x |
| Видеомикроскоп | цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, ручная фокусировка и автофокус, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов |
| Программное обеспечение | стандартно: Fischer WinFTM BASIC включая PDM; опционально: Fischer WinFTM SUPER |
| Питание | адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт |
| Диапазон рабочих температур | от +10 до +40 °С |
| Класс защиты | IP40 |
| Температура хранения | от 0 до +50 °С |
| Габариты | 570×760×650 мм |
| Масса | 115 кг |